1. Πίσω στο έργο

Ο εξοπλισμός υγρής απομάκρυνσης είναι ένα κρίσιμο εργαλείο που χρησιμοποιείται σε διεργασίες κατασκευής ημιαγωγών και ακριβείας.Η κύρια λειτουργία του είναι η αφαίρεση λεπτών ταινιών ή επικαλυμμένων στρωμάτων από υποστρώματα μέσω ελεγχόμενων χημικών διαλύσεων και διαχείρισης της θερμοκρασίαςΤα συστήματα αυτά εφαρμόζονται ευρέως στα μικροηλεκτρονικά, στα οπτικά εξαρτήματα, στις ευέλικτες οθόνες και σε άλλες βιομηχανίες υψηλής ακρίβειας, όπου η συνέπεια και η σταθερότητα της διαδικασίας είναι ουσιώδεις.

Ένα τυπικό σύστημα υγρής απομάκρυνσης περιλαμβάνει μια μονάδα χημικής κυκλοφορίας, ένα ακριβές σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας, ένα σύστημα παράδοσης διαλύματος και μια προγραμματιζόμενη πλατφόρμα αυτοματισμού.Επειδή η ποιότητα απομάκρυνσης είναι πολύ ευαίσθητη στις παραμέτρους της διαδικασίας, ο εξοπλισμός πρέπει να διατηρεί αυστηρό έλεγχο των επιπέδων του υγρού, της θερμοκρασίας, του ρυθμού ροής και της χημικής σταθερότητας, ώστε να εξασφαλίζονται ομοιόμορφα αποτελέσματα απομάκρυνσης, ενώ ταυτόχρονα μειώνεται η βλάβη του υποστρώματος.

Το έργο αυτό επικεντρώνεται στην παροχή μιας σταθερής, ακριβούς και υψηλής απόδοσης λύσης αυτοματοποίησης για μια γραμμή παραγωγής υγρής απομάκρυνσης ημιαγωγών, βελτιώνοντας την απόδοση και την ποιότητα του προϊόντος.

2. Σύνοψη λύσεων

• Κεντρικός ελεγκτής:Κύκλος ελέγχου

• Εφαρμόσιμη διαδικασία:Η λιθογραφία front-end ∆ημιουργία πρότυπων με υγρή διαδικασία

• Διαμόρφωση I/O:Περίπου 100 ψηφιακά σημεία I/O

• Ετήσιος όγκος ανάπτυξης:80 μονάδες

3Τεχνική εφαρμογή

Ο εξοπλισμός απομάκρυνσης υιοθετεί έναν PLC Keyence σε συνδυασμό με τις μονάδες I/O της σειράς RS, σχηματίζοντας ένα πλήρες και αξιόπιστο σύστημα ελέγχου αυτοματισμού που έχει σχεδιαστεί για την ακριβή εκτέλεση της διαδικασίας.

1. Πολυαισθητηριακή απόκτηση εισόδου

Η μονάδα I/O συλλέγει βασικά σήματα διαδικασίας από διάφορους αισθητήρες, μεταξύ των οποίων:

• Ανιχνευτές επιπέδου υγρού

• Ανιχνευτές θερμοκρασίας

• Αισθητήρες ροής

• Ανιχνευτές κατάστασης χημικής κυκλοφορίας

Αυτά τα σήματα εξασφαλίζουν την ακριβή παρακολούθηση της παροχής χημικών ουσιών, τη σταθερότητα της θερμοκρασίας και τη σταθερότητα της διαδικασίας καθ' όλη τη διάρκεια του κύκλου απομάκρυνσης.

2- Ακριβής έλεγχος ενεργοποιητή.

Μέσα από την υψηλής ταχύτητας λογική επεξεργασία, ο PLC ελέγχει τις ενότητες Ε/Υ και εκτελεί συντονισμένες ενέργειες όπως:

• Χημικές προσαρμογές θέρμανσης

• Ακριβής διανομή του διαλύματος

• Καθαρισμός και εναλλαγή κυκλοφορίας

• Έλεγχος βαλβίδας

• Προστασία ασφαλείας και αλληλοκλειδώσεις

Αυτό εξασφαλίζει ότι ολόκληρη η ακολουθία απογύμνωσης λειτουργεί ομαλά, αποτελεσματικά και με ασφάλεια.

3Βελτιωμένη συνέπεια διαδικασιών

Η αυτοματοποίηση ελαχιστοποιεί το ανθρώπινο σφάλμα και ενισχύει την ιχνηλασιμότητα των δεδομένων.

4. Πλεονεκτήματα της λύσης

Σύνθετο και ελαφρύ σχεδιασμό

Η αρθρωτή δομή επιτρέπει την απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε μεγάλες γραμμές υγρής επεξεργασίας, μειώνοντας τον χώρο εγκατάστασης και αυξάνοντας την ευελιξία.

Εύκολη εγκατάσταση και συντήρηση

Η αρχιτεκτονική I/O Plug-and-play μειώνει την πολυπλοκότητα της καλωδίωσης, ενώ ο PLC υποστηρίζει την ταχεία αντιμετώπιση προβλημάτων και τη διάγνωση, ελαχιστοποιώντας τον χρόνο διακοπής λειτουργίας του συστήματος.

5. Αποτέλεση και αξία που παρέχονται

Με την εφαρμογή της αρχιτεκτονικής αυτοματισμού Keyence PLC + RS I/O, το σύστημα υγρής απομάκρυνσης πέτυχε:

• Μεγαλύτερη συνέπεια αποκόλλησηςπου πληροί τις απαιτήσεις ακρίβειας σε επίπεδο ημιαγωγού

• Βελτιωμένη αυτοματοποίηση και μειωμένη παρέμβαση του χειριστή

• Αύξηση της αποδοτικότητας της παραγωγής και της απόδοσης

• Δυνατή κλιμακωτότητα για μελλοντικές αναβαθμίσεις διαδικασιών

Η λύση αυτή έχει χρησιμοποιηθεί με επιτυχία σε γραμμές προεπεξεργασίας λιθογραφίας front-end και έχει λάβει εξαιρετικά θετική ανταπόκριση από τους πελάτες.