Λύση ελέγχου αυτοματισμού για εξοπλισμό επικαλύψεως ημιαγωγών

Λύση ελέγχου αυτοματισμού για εξοπλισμό επικαλύψεως ημιαγωγών

Προηγούμενο άρθρο:
Στην βιομηχανία ημιαγωγών, οι μηχανές επικάλυψης είναι απαραίτητες στη διαδικασία φωτολιθογραφίας, υπεύθυνες για την εφαρμογή φωτοανθεκτικών ή άλλων λειτουργικών υλικών σε πλάκες ή υπόστρωμα.Χρησιμοποιώντας μεθόδους επικάλυψης με περιστροφή ή ψεκασμόΤα μηχανήματα αυτά σχηματίζουν ομοιόμορφα και σταθερά λεπτά φύλλα για να εξασφαλίσουν την ακρίβεια των σχεδίων.και συστήματα υψηλής ακρίβειας θέσηςΣυχνά διαθέτουν αυτοματοποιημένα χέρια φόρτωσης/αφόρτωσης και συστήματα ελέγχου ανατροφοδότησης σε πραγματικό χρόνο για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας της παραγωγής και τη διασφάλιση της σταθερής ποιότητας της επικάλυψης.

Λύση:

• Κεντρικός ελεγκτής:Η OMRON PLC

• Εφαρμόσιμη διαδικασία:Επιχρισμός

• Διαμόρφωση I/O του έργου:Δελτίο ΕΚ 6-1994, σημείο 1.6.

• Ετήσια χρήση:1 εκατομμύριο σετ

Σε αυτό το έργο, ο πελάτης ενσωματώνει ένα OMRON PLC με τα προϊόντα νήματος βαλβίδων MTC της Decowell για την κατασκευή ενός συμπαγούς και αποτελεσματικού συστήματος πνευματικού ελέγχου για εξοπλισμό επίχρισής.Σολενοειδείς βαλβίδες οδηγούν κυλίνδρους για τον ακριβή έλεγχο της κατακόρυφης και οριζόντιας κίνησης του ακροφύλλου ψεκασμούΕπιπλέον κύλινδροι κινούνται τα αυτόματα χέρια φόρτωσης και εκφόρτωσης, τα οποία μεταφέρουν τα υποστρώματα μεταξύ της επικάλυψης και του συστήματος μεταφορέα.

Το σύστημα ενσωματώνει ενότητες I/O στο νησί της βαλβίδας, επιτρέποντας την εύκολη σύνδεση αισθητήρων θέσης και μαγνητικών διακόπτες.Με αρθρωτή αρχιτεκτονική, το σύστημα προσφέρει εξαιρετική επεκτασιμότητα και ευελιξία για να ανταποκρίνεται σε διαφορετικές διαμορφώσεις εξοπλισμού.

Πλεονεκτήματα εφαρμογής:

• Η υψηλή ολοκλήρωση μειώνει την καλωδίωση και εξοικονομεί χώρο σε πάνελ

• Επεκτάσιμες ενότητες Ε/Υ για μελλοντικές αναβαθμίσεις του συστήματος

• Ακριβής έλεγχος της κίνησης των ακροβομβίδων ψεκασμού και των χεριών χειρισμού

• Σταθερή, αποδοτική απόδοση κατάλληλη για παραγωγή μεγάλου όγκου